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?Brooks熱式質量流量計SLA系列資料
點擊次數(shù):560 更新時間:2022-11-02

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Brooks熱式質量流量計SLA系列資料


布魯克斯儀器的橡膠密封質量流量計和控制器將工藝所需的準確性、可靠性和可重復性相結合,是一種能夠為您提供高精度性能和長期穩(wěn)定性并且經(jīng)濟有效的測量儀器。


應用

化學品與石化分析和試驗過程

實驗室和分析系統(tǒng)

生命科學實驗室

薄膜氣相沉積

熱處理、切割等其他熱過程

真空應用


參數(shù)

流體類型  氣體

流量范圍  滿量程容量3 sccm - 2500 lpm

精度  ± 0.6% of SP

最大壓力  4500 psig

溫度  65℃



布魯克斯質量流量設備得到廣泛應用的關鍵原因:


擁有業(yè)內種類齊全的產(chǎn)品系列可滿足各種應用需求

創(chuàng)新型 MultiFlo™ 技術可使一臺設備完成氣體類型和量程的切換工作并且無需從系統(tǒng)中拆除設備,同時還能夠提升過程氣體的測量準確性

產(chǎn)品范圍全面,包括彈性體密封和金屬密封選件

超高純度設備,專為滿足薄膜、半導體以及其他高科技行業(yè)需求而設計


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